產品說明：
- 最大放大倍率6萬倍
- 采用二次電子和背散射電子雙重探測器
- 1kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高
- 通過選配EDS可進行元素成份分析
- 高真空配置
- Tilt（0~45）載物臺配置（可選擇）
產品特性：
- 臺式掃描電鏡,體型小巧,占用空間小
- 強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單
- 軟件實現檢測圖形實時存儲
- 掃描電鏡產品結構設計簡潔,易於維護及保養
- 自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品
技術參數：
| 分辨率（Resolution） | 15nm (30kV, SE Image) |
| 20nm (30kV, BSE Image) | |
| 放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
| 加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6 step) |
| 圖像檢測（Signal Detection） | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
| 背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
| * Multi Detector (SEI+BSEI) | |
| 觀察模式（Observation mode） | Standard Mode |
| Charge-up reduction mode | |
| 電子槍系統（Electron Gun） | |
| 燈絲類型（Filament type） | 預對中鎢燈絲（Pre Centeredtungstenfilament Cartridge） |
| 偏壓系統（Bias voltage system） | 自動偏壓方式（Automatic mode） |
| 電子槍校正（Electron gunalignment） | 手動方式（Manual mode） |
| 透鏡構成（Lens system） | |
| 聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
| 物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
| 探測器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
| 載物臺系統( Stage System) | Auto or Mauanl |
| 載物臺移動（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
| 圖像偏移（Image shift） | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
| 樣品最大尺寸（Max Sample size） | 高度30mm時最大直徑70mm，70mm in diameter, 30mm in height |
| 圖像掃描（Image Scanning system） | 快速描 (Fast Scan): 320×240 (Scan time: 0.1 sec.) |
| 低速描 (Slow Scan): 640×480 (Scan time: 3 sec.) | |
| 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280×960 | |
| 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560×1920 | |
| 圖片模式3(Photo Mode 3): 5120×3840 | |
| 自動功能（Automatic Function） | 自動啟動(Auto start)，自動聚焦(Auto focus)，自動亮度對比度調節(Auto Brightness/Contrast) |
| 圖像存儲格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
| 數據顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 |
| 真空系統（Vacuum system） | 全自動型/高真空模式(Fully Automatic Multi mode) |
| （旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min | |
| （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec | |
| 抽真空時間(pumpdown time)：2分鐘以內 (less than 2 minutes) | |
| 操控系統(Control unit system) | 鼠標和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
| PC：臺式電腦（Desk Top） | |
| 軟件（Software function） | 圖像文件打開，編輯，存儲功能(Image file open, edit, Save function) |
| 長度，面積，角度等測量功能(Length, area, angle measuring) | |
| 設置數值初始化(parameter initialization)，圖像拍攝模式轉換(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等 | |
| 體積（ Volume） | 設備主機（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set |
| 外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set | |
| 根據客戶實際情況使用Anti vabration Table | |
| 重量 （Weight） | 99kg |
| 設備環境（Equipment environment） | 溫度(Temperature)：15℃~30℃ |
| 濕度(Humidity)：70% or less | |
| 電源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz | |
樣品檢測結果：
使用壹顆不良品螺絲作為樣品進行了實際測試,圖片如下:
其它測試圖片：
